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        05
        2026
        -
        08
        鏡片鍍膜厚度 偏移,白光干涉儀核驗光學鍍膜制程
        光學鏡片(Optical Lens)鍍膜制程中,鍍膜厚度(Coating Thickness)是決定膜系光學性能的核心參數。物理氣相沉積(PVD)、磁控濺射等工藝...
        鏡片鍍膜厚度 偏移,白光干涉儀核驗光學鍍膜制程
        05
        2026
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        基于光學輪廓測量的加氫密封件平面度熱變形研究
        高壓加氫反應器(High-pressure Hydrogenation Reactor)是石化加氫工藝核心承壓設備,其密封件(Sealing Component)...
        基于光學輪廓測量的加氫密封件平面度熱變形研究
        05
        2026
        -
        08
        超光滑表面(Ultra-smooth Surface) 微納...
        摘要超光滑表面廣泛應用于半導體、精密光學、微機電系統(Micro-Electro-Mechanical System, MEMS)器件制造領域,拋光、鍍膜制程易產...
        超光滑表面(Ultra-smooth Surface) 微納工藝異常的精準檢測,白光干涉儀(White Light Interferometer, WLI) 技術優(yōu)勢與應用實踐
        04
        2026
        -
        08
        基于白光干涉儀的晶圓表面粗糙度及加工工藝檢測分析
        一、技術概述半導體超光滑晶圓構件是高端芯片、精密光學、激光系統的核心基礎元件,其CMP拋光、研磨等工序易產生納米級劃痕、局部凹陷、顆粒凸起、面形畸變等微觀缺陷。傳...
        基于白光干涉儀的晶圓表面粗糙度及加工工藝檢測分析
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