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超薄薄膜（Ultra-thin Film）是光電傳感、精密光學鍍膜、半導體微電子領域的核心功能材料。薄膜制備常用的磁控濺射（Magnetron Sputterin...

白光干涉儀（White Light Interferometer, WLI）高精度表征下超薄薄膜（Ultra-thin Film）表面瑕疵與工藝誤差關聯性研究

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